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半導體MEMS
専用高速カメラ搭載(シングルヘッド、ダブルオプション)高速運動モジュール(リニアモーターモジュール、高速安定)全自動上下材料(ダブルボックス、交換頻度を低減)MESシステム機能(多種フォーマットMapping図ダウンロードアップロードをサポート)